Τα δομικά χαρακτηριστικά του μικρο -micromachining περιλαμβάνουν κυρίως τις ακόλουθες πτυχές:
Μικρό μέγεθος: Ένα από τα κύρια χαρακτηριστικά της μικρο -μηχανικής είναι η επεξεργασία των δομών Micron/Nanoscale, γεγονός που καθιστά το μέγεθος των κατεργασμένων τμημάτων πολύ μικρά . Για παράδειγμα, το μέγεθος των μικρομηχανικών τμημάτων είναι συνήθως μεταξύ 0 . 01 και 10 mm.
Υψηλή ακρίβεια: Δεδομένου ότι η μικρο-micromachining περιλαμβάνει πολύ μικρά μεγέθη, οι απαιτήσεις για την ακρίβεια κατεργασίας είναι πολύ υψηλές . παράγοντες όπως η τριβή και η θερμική παραμόρφωση στη μικροσκοπική κλίμακα απαιτούν έλεγχο υψηλής ακρίβειας για να εξασφαλιστεί η ακρίβεια και η σταθερότητα των εξαρτημάτων .}}}}}}}}}
Διαφορετικότητα: Η τεχνολογία micromachining μπορεί να εφαρμοστεί σε μια ποικιλία υλικών, όπως πυρίτιο, πολυμερή, μέταλλα, κεραμικά κ.λπ.
Ευελιξία: Η τεχνολογία micromachining είναι εξαιρετικά ευέλικτη και κατάλληλη για την παραγωγή μικρο-συστατικών με σύνθετα σχήματα . μπορεί να χρησιμοποιηθεί όχι μόνο για την κατασκευή απλών γεωμετρικών σχημάτων, αλλά και για την κατασκευή σύνθετων δομών 3D .}
Μαζική παραγωγή: Η μικρο-micromachining είναι συχνά χύτευση παρτίδας, η οποία είναι κατάλληλη για παραγωγή μεγάλης κλίμακας . Αυτή η μέθοδος παραγωγής μπορεί να βελτιώσει την αποτελεσματικότητα και να μειώσει το κόστος και είναι κατάλληλη για μικρά μέρη που πρέπει να παραχθούν μαζικά .